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                          歡迎訪問,東莞市財源五金機械制造有限公司網站!主營:箱式爐,退火爐,固熔爐,加熱爐,時效爐,熱啤爐

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                          退火爐五個常見問題!

                          文章出處:公司動態 責任編輯:東莞市財源五金機械制造有限公司 發表時間:2021-08-24
                            

                          退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

                          退火爐??

                          1、退火氣氛:一般都是選用純氫作為退火氣氛,氣氛純度比較好是99.99%以上,如果氣氛中另一部分是惰性氣體的話,純度也能夠低一點,可是絕對不能含有過多氧氣、水汽。

                          2、退火溫度是否達到規定溫度。亮光退火爐一般是采納固溶熱處理,也就是人們往常所謂的“退火”,溫度規模為1040~1120℃(日本標準)。能夠通過退火爐觀察孔觀察,退火區的不銹鋼管應為白熾狀況,但沒呈現軟化下垂。?
                          3、維護氣壓力:為了避免呈現微漏,爐內維護氣應堅持一定的正壓,如果是氫氣維護氣,一般要求20kBar以上。

                          4、爐體密封性:亮光退火爐應是關閉的,與外界空氣隔絕;選用氫氣作維護氣的,只有一個排氣口是通的(用來點著排出的氫氣)。檢查的方法能夠用肥皂水抹在退火爐各個接頭縫隙處,看是否跑氣;其中比較簡單跑氣的當地是退火爐進管子的當地和出管子的當地,這個當地的密封圈特別簡單磨損,要經常檢查經常換。

                          ?5、爐內水汽:一方面檢查爐體材料是否干燥,初次裝爐,爐體材料必需要烘干;二是進爐的不銹鋼管是否殘留過多水漬,特別管子上面如果有孔的話,千萬別漏水進去了,要不然就把爐子氣氛全破壞了。 如果沒有呈現這幾類問題的話開爐后應該退20米左右的不銹鋼管就會開始發亮,是亮得反光的那種。

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                          關鍵詞:箱式爐,退火爐,固熔爐,加熱爐,時效爐,熱啤爐,光亮退火爐,連續式回火爐
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